12 Inch Wafer
Product Detail
300MM | ||||
SPEC | 0.045um≤50ea | 0.065um≤50ea | 0.09um≤50ea | 0.12um≤50ea |
-- | CZ | CZ | CZ | CZ |
Diameter(mm) | 300±0.2 | 300±0.2 | 300±0.2 | 300±0.2 |
Type/Dopant | P/Boron | P/Boron | P/Boron | P/Boron |
Crystal Orientation | <100>±1 | <100>±1 | <100>±1 | <100>±1 |
Notch Orientation | <110>±1 | <110>±1 | <110>±1 | <110>±1 |
Resistivity（Ω•cm） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
Thickness（μｍ） | 775±25 | 775±25 | 775±25 | 775±25 |
TTV (µm) | ≦10 | ≦10 | ≦10 | ≦10 |
BOW（μｍ） | ≦40 | ≦40 | ≦40 | ≦40 |
WARP（μｍ） | ≦40 | ≦40 | ≦40 | ≦40 |
LM | T7 + OCR | T7 + OCR | T7 + OCR | T7 + OCR |
Surface Metal | <1 E10 Atoms/cm2 | <1 E10 Atoms/cm2 | <1 E10 Atoms/cm2 | <1 E10 Atoms/cm2 |